| G12B 21/02 | .зонды |
| G12B 21/04 | ..зонды с туннельным эффектом |
| G12B 21/06 | ..оптические зонды ближнего действия |
| G12B 21/08 | ..атомные силовые зонды |
| G12B 21/10 | ..магнитные силовые зонды |
| G12B 21/12 | ..электростатические силовые зонды |
| G12B 21/20 | .устройства для сканирования или позиционирования |
| G12B 21/22 | ..конструкционные детали |
| G12B 21/24 | ..компенсирование ошибок, возникающих под действием температуры или вибрации |
G12B 21/00 Конструктивные элементы устройств, использующих метод сканирующего зонда 