...полихинондиазиды; высокомолекулярные добавки, например связующие
G03F 7/025
..невысокомолекулярные фотополимеризующиеся соединения, имеющие тройные углерод-углеродные связи, например ацетиленовые соединения ( 7/075 имеет преимущество)
G03F 7/027
..невысокомолекулярные фотополимеризующиеся соединения, имеющие двойные углерод-углеродные связи, например этиленовые соединения ( 7/075 имеет преимущество)
G03F 7/028
...с веществами, повышающими светочувствительность, например фотоинициаторами
G03F 7/029
....неорганические соединения; ониевые соединения; органические соединения, содержащие гетероатомы кроме кислорода, азота или серы
G03F 7/031
....органические соединения, не отнесенные к рубрике 7/029
G03F 7/032
...со связующими
G03F 7/033
....полимерами, получаемыми реакциями с участием только ненасыщенных углерод-углеродных связей, например виниловыми полимерами
G03F 7/035
....полиуретанами
G03F 7/037
....полиамидами или полиимидами
G03F 7/038
..высокомолекулярные соединения, обрабатываемые для придания нерастворимости или различной смачиваемости ( 7/075 имеет преимущество; полиазиды 7/012; соединения полидиазония 7/021)
G03F 7/039
..высокомолекулярные соединения, разлагающиеся под действием света, например позитивные электронные резисты ( 7/075 имеет преимущество; полихинондиазиды 7/023)
...используемые для процессов с диффузионным переносом
G03F 7/075
..кремнийсодержащие соединения
G03F 7/085
..светочувствительные составы, отличающиеся высокомолекулярными добавками, придающими адгезионные свойства ( 7/075 имеет преимущество)
G03F 7/09
..отличающиеся конструктивными элементами, например подложками, вспомогательными слоями (подложки для печатных форм вообще B 41N)
G03F 7/095
...имеющие более одного светочувствительного слоя ( 7/075 имеет преимущество)
G03F 7/105
...содержащие вещества, например индикаторы, для формирования видимого изображения
G03F 7/11
...содержащие покрывающие или промежуточные слои, например подслой фотоэмульсии
G03F 7/115
...содержащие подложку или слои со средствами для получения растрового эффекта или для получения лучшего контакта при вакуумной печати
G03F 7/12
.изготовление форм для трафаретной печати или подобных печатных форм, например шаблонов
G03F 7/14
.изготовление печатных форм для коллотипии
G03F 7/16
.процессы нанесения покрытий; устройства для этих целей (нанесение покрытий на основной материал вообще B 05; нанесение светочувствительных составов на подложку для фотографических целей G 03C 1/74)
G03F 7/18
..нанесение покрытий на неплоские поверхности
G03F 7/20
.экспонирование; устройства для этой цели (устройства фотопечатания для изготовления копий G 03B 27/00)
G03F 7/207
..средства для фокусировки, например автоматические (в комбинации с размещением и фиксацией 9/02; системы для автоматического генерирования сигналов фокусировки вообще G 02B 7/28; средства для автоматической фокусировки устройств фотопечатания G 03B 27/34)
G03F 7/213
..одновременное экспонирование с различных участков одного и того же негатива одной и той же поверхности ( 7/207 имеет преимущество)
G03F 7/22
..последовательное экспонирование с различных участков одного и того же негатива одной и той же поверхности ( 7/207 имеет преимущество)
G03F 7/23
...автоматические средства для этой цели
G03F 7/24
..неплоских поверхностей
G03F 7/26
.обработка светочувствительных материалов; устройства для этой цели ( 7/12 - 7/24 имеют преимущество)
G03F 7/28
..для получения порошкового изображения ( 3/10 имеет преимущество)
G03F 7/30
..способы удаления изображения с использованием жидких веществ
G03F 7/32
...жидкие составы для этих целей, например проявители
G03F 7/34
..способы удаления изображения путем избирательного переноса, например отслаиванием
G03F 7/36
..способы удаления изображения, не отнесенные к рубрикам 7/30 - 7/34, например использующие газовые струи или плазму
G03F 7/38
..обработка перед удалением изображения, например предварительная термообработка
G03F 7/40
..обработка после удаления изображения, например термообработка
G03F 7/00 Фотомеханическое, например фотолитографическое, изготовление рельефных (текстурированных) поверхностей или поверхностей с рисунком, например печатные поверхности; материалы для этих целей, например содержащие фоторезисты; устройства, специально приспособленные для этих целей (использующие фоторезистные структуры для специальных процессов см. соответствующие подклассы, например B 44C, H 01L, а также рубрики, например H 01L 21/00, H 05K)