.Исследование или анализ поверхностных структур в атомном диапазоне с использованием техники сканирующего зонда (посредством измерения вторичной эмиссии 23/22; измерение размеров с использованием техники сканирующего зонда G 01B; конструктивные детали устройств сканирующего зонда вообще G 12B 21/00)
G01N 13/12
..с использованием сканирующей туннельной микроскопии (STM)
G01N 13/14
..с использованием сканирующей оптической микроскопии в ближней зоне (SNOM)
G01N 13/16
..с использованием атомной микроскопии (AFM)
G01N 13/18
..с использованием сканирующей ионопроводящей микроскопии (SICM)
G01N 13/20
..с использованием сканирующей емкостной микроскопии (SCM)
G01N 13/22
..с использованием магнитно-силовой микроскопии (MFM)
G01N 13/24
..с использованием сканирующей электрохимической микроскопии
G01N 13/00 Исследование поверхностных или граничных свойств, например смачивающей способности; исследование диффузионных эффектов; анализ материалов путем определения их поверхностных, граничных и диффузионных эффектов; исследование или анализ поверхностных структур в атомном диапазоне 