| C30B 31/02 | .контактированием с диффузионным материалом в твердом состоянии |
| C30B 31/04 | .контактированием с диффузионным материалом в жидком состоянии |
| C30B 31/06 | .контактированием с диффузионным материалом в газообразном состоянии ( 31/18 имеет преимущество) |
| C30B 31/08 | ..с диффузионным материалом, являющимся соединением элементов, способным к диффузии |
| C30B 31/10 | ..реакционные камеры; выбор материала для них |
| C30B 31/12 | ..нагревание реакционной камеры |
| C30B 31/14 | ..держатели или приемники подложек |
| C30B 31/16 | ..средства для подачи или выпуска газов; изменение потока газов |
| C30B 31/18 | ..управление или регулирование (управление или регулирование вообще G 05) |
| C30B 31/20 | .легирование путем облучения электромагнитными волнами или облучения частицами |
| C30B 31/22 | ..ионным внедрением |
C30B 31/00 Способы диффузии или легирования монокристаллов или гомогенного поликристаллического материала с определенной структурой; устройства для этих целей 