 | C30B 1/02 | .термической обработкой, например отжигом деформаций ( 1/12 имеет преимущество) |
 | C30B 1/04 | ..изотермическая рекристаллизация |
 | C30B 1/06 | ..рекристаллизация с температурным градиентом |
 | C30B 1/08 | ...зонная рекристаллизация |
 | C30B 1/10 | .реакциями в твердом состоянии или многофазной диффузией |
 | C30B 1/12 | .обработкой давлением в процессе выращивания |