ИННОВАЦИОННЫЕ ПРОЕКТЫ МАЛОГО БИЗНЕСА
projects.innovbusiness.ru
Вверх C23C 16/00 Химическое нанесение покрытия путем разложения газообразных соединений, причем продукты реакции не остаются в покрытии, т.е. способы химического осаждения паров (ХОП) (распыление или вакуумное испарение  14/00)
  C23C 16/01.на временных подложках, например на подложках, последовательно удаляемых травлением
  C23C 16/02.предварительная обработка покрываемого материала ( 16/04 имеет преимущество)
  C23C 16/04.нанесение покрытия на выбранные участки поверхности, например с использованием масок
  C23C 16/06.характеризуемые осаждением металлического материала
  C23C 16/08..из галогенидов металлов
  C23C 16/10...осаждение только хрома
  C23C 16/12...осаждение только алюминия
  C23C 16/14...осаждение только одного другого металла
  C23C 16/16..из карбонилов металлов
  C23C 16/18..из металлоорганических соединений
  C23C 16/20...осаждение только алюминия
  C23C 16/22.характеризуемые осаждением неорганического материала иного, чем металлический
  C23C 16/24..осаждение только кремния
  C23C 16/26..осаждение только углерода
  C23C 16/27...осаждением только алмаза
  C23C 16/28..осаждение только одного другого неметалла
  C23C 16/30..осаждение соединений, смесей или твердых растворов, например боридов, карбидов, нитридов
  C23C 16/32...карбиды
  C23C 16/34...нитриды
  C23C 16/36...карбонитриды
  C23C 16/38...бориды
  C23C 16/40...оксиды
  C23C 16/42...силициды
  C23C 16/44.характеризуемые способом покрытия ( 16/04 имеет преимущество)
  C23C 16/442..способами в псевдоожиженном слое
  C23C 16/448..характеризуемые способом, используемым для генерирования реакционноспособных газовых струй, например путем испарения или сублимации промежуточных материалов
  C23C 16/452...путем активирования реакционноспособных газовых струй перед вхождением в реакционную камеру, например путем ионизации или добавления реакционноспособных частиц
  C23C 16/453..прохождение реакционноспособных газов через форсунки или горелки, например ХОП при атмосферном давлении ( 16/513 имеет преимущество; для пламенного или плазменного распыления покрывающего материала в расплавленном состоянии  4/00)
  C23C 16/455..характеризуемые способом, используемым для введения газов в реакционную камеру или для модифицирования газовых потоков в реакционной камере
  C23C 16/458..характеризуемые способом, используемым для поддерживания подложек в реакционной камере
  C23C 16/46..характеризуемые способом, используемым для нагрева подложки ( 16/4816/50 имеют преимущество)
  C23C 16/48..путем облучения, например фотолиза, радиолиза, корпускулярного излучения
  C23C 16/50..путем использования электрических разрядов
  C23C 16/503...с использованием разрядов постоянного или переменного тока
  C23C 16/505...с использованием радиочастотных разрядов
  C23C 16/507....с использованием внешних электродов, например в реакторах туннельного типа
  C23C 16/509....с использованием внутренних электродов
  C23C 16/511...с использованием микроволновых разрядов
  C23C 16/513...с использованием плазменных струй
  C23C 16/515...с использованием пульсирующих разрядов
  C23C 16/517...с использованием комбинации разрядов, охватываемых двумя или более группами  16/503 - 16/515
  C23C 16/52..управление или регулирование способа покрытия (управление или регулирование вообще  G 05)
  C23C 16/54..устройства, специально приспособленные для непрерывного покрытия
  C23C 16/56.последующая обработка
2003 - 2022 © НДП "Альянс Медиа"
Рейтинг@Mail.ruRambler's Top100