ИННОВАЦИОННЫЕ ПРОЕКТЫ МАЛОГО БИЗНЕСА projects.innovbusiness.ru |
 B81 Микроструктурные технологии Примечания (1) К данному классу отнесены микроструктурные устройства или системы, включающие по крайней мере один существенный элемент или структуру, характеризующиеся очень малым размером, главным образом в интервале от 10-4 до 10-7 метра, т.е. их существенные размеры, по крайней мере в одном измерении, не могут быть полностью распознаны без использования оптического микроскопа. (2) В данном классе используемые выражения имеют следующие значения: - к "микроструктурным устройствам" отнесены: (i) микромеханические устройства с подвижными, гибкими или деформируемыми элементами и (ii) трехмерные структуры без подвижных, гибких или деформируемых элементов, имеющие микрообразования, предназначенные для выполнения существенной функции взаимодействия с окружающей средой, причем эта функция не является чисто электронной или химической, независимо от того, объединены ли эти структуры с микроэлектронными устройствами или образованы из специфических материалов; - к "микроструктурным системам" отнесены: (i) системы взаимодействия микроструктурных устройств и (ii) микроэлектромеханические или микрооптомеханические системы, которые объединяют на общей подложке специфические элементы микроструктурных устройств и электрических или оптических компонентов, например для управления микроструктурными устройствами , их контроля или сигнализации о функционировании.
|
