| Аннотация: | Устройство для измерения давления, содержащее приемную мембрану, имеющую толстое внешнее кольцо, тонкую часть в виде кольца, толстый жесткий центр, содержащий отверстие, измерительную мембрану, имеющую внешнее толстое кольцо, тонкую часть и жесткий центр, содержащий шток, служащий для передачи деформации от приемной мембраны на измерительную мембрану, и по крайней мере два тензорезистора, размещенные на диэлектрической подложке, жестко закрепленной на верхней поверхности измерительной мембраны, вблизи областей переходов тонкой части в толстую, отличающееся тем, что верхняя измерительная мембрана выполнена таким образом, что она имеет вытянутую прямоугольную форму с отношением сторон не менее 3:1, образованную посредством двух симметрично расположенных боковых формирующих прорезей, выполненных в круглой мембране на глубину, превышающую толщину тонкой части мембраны и имеющими произвольную ширину, а диэлектрическая подложка имеет ширину близкую к ширине измерительной мембраны, на поверхности которой она жестко закреплена, при этом на диэлектрической подложке в четырех областях перехода тонкой части в толстую часть, как вблизи внешнего кольца, так и вблизи жесткого центра, размещены четыре тензочувствительных резистора, имеющих одинаковую ориентацию вдоль длинной стороны мембраны или перпендикулярно ей.
|