Эмиссионный акустооптический спектрометр для актинометрических измерений кинетических параметров плазмохимических реакций в ВЧ-разряде «Микрохрон»

Область применения: Нанотехнологии
Аннотация: Предложен АО спектрометр, реализующий метод эмиссионных актинометрических измерений кинетических параметров плазмохимических реакций, включая кинетический порядок, константы скорости гетерогенной гибели химически активных частиц и характерное время их жизни. Основу метода составляют акустооптическая спектроскопия с временным разрешением ( 1 мкс) и модуляция мощности разряда гребенкой коротких зондирующих импульсов в фазе послесвечения. Кинетические кривые накопления и аннигиляции активных частиц в этой фазе получаются из микродинамики измеряемых пиков спектральных линий подобранных актинометрических пар. Автоматизированные с помощью микроЭВМ PC/AT-486 измерения проводятся на 4 - 9 длинах волн, включая пики спектральных линий и фоновые подставки при них, электронно-перестраиваемых в последовательно-параллельном режиме. Длительность одного цикла из 100 повторных измерений на четырех длинах волн с разрешением по времени 25 мкс составляет не более 50 с. Значения кинетических параметров получаются из анализа логарифмированной кинетической кривой аннигиляции частиц.
Объект интеллектуальной собственности: ноу-хау
Автор/разработчик: ЗАО фирма «Сигма-Оптик ЛТД».
Стадия освоения разработки: мелкосерийное производство
Охранные документы: Заявка на патент
Формы сотрудничества: внедрение новой технологии
Название предприятия: "Сигма-Оптик ЛТД", ЗАО
Статус: юридическое лицо
Адрес: 124460 Москва, г. Зеленоград, корп. 1212-123
Телефон: +7 (495) 535-93-00
Факс: +7 (495) 535-91-71
E-mail: a-optic@vniiftri.ru
Адрес Web: www.sigma-optic.ru
ФИО руководителя предприятия: Магомедов Зайнутдин Абдулкадырович
Контактное лицо: Тябликов Александр Валентинович (495) 535-93-00
Регион: Москва, Зеленоградский округ