| Область применения: | Биология, медицина |
| Аннотация: | 1. Способ сканирования объектов с помощью сканирующего зондового микроскопа, при котором зонд сближают с поверхностью объекта, пьезосканером осуществляют сканирование его поверхности и с использованием системы регистрации измеряют полезный сигнал, являющийся функцией взаимного положения зонда и поверхности объекта, отличающийся тем, что для сканирования поверхности объекта используют взаимное перемещение двух пьезосканеров, при этом объект устанавливают на первом пьезосканере, зонд закрепляют на втором пьезосканере и располагают над исследуемой поверхностью, затем производят сканирование в противофазе по каждой из координат сканирования.
2. Способ сканирования объектов по п.1, отличающийся тем, что используют пьезосканеры с эквивалентными активными элементами, положение одного из пьезосканеров измеряют по каждой из координат сканирования X, Y, Z и по результатам этих измерений определяют величины перемещений по этим координатам каждого из пьезосканеров.
3. Способ сканирования объектов по пп.1 и 2, отличающийся тем, что на каждый из активных элементов пьезосканеров устанавливают эквивалентные присоединенные массы.
4. Способ сканирования объектов по п.1, отличающийся тем, что сканирование производят с отключением, по крайней мере, одной из координат на одном из сканеров.
5. Способ сканирования объектов по п.1 преимущественно при сканировании многозондовыми системами, отличающийся тем, что сканирование осуществляют путем вращения зонда и образца вокруг соответствующих фиксированных центров.
|
| Объект интеллектуальной собственности: | изобретение |
| Автор/разработчик: | Быков Виктор Александрович, Беляев Алексей Владимирович, Соколов Дмитрий Юрьевич, Фюрст Леонид Георгиевич |
| Стадия освоения разработки: | мелкосерийное производство |
| Формы сотрудничества: | совместное производство |
| Название предприятия: | "НТ-МДТ", ЗАО |
| Статус: | юридическое лицо |
| Адрес: | 124460, Москва, Зеленоград, Корпус 167, ЗАО «НТ-МДТ» |
| Телефон: | +7 (495) 535-03-05, 535-83-69 |
| Факс: | +7 (495) 535-64-10 |
| E-mail: | secretary@ntmdt.ru |
| Адрес Web: | www.ntmdt.ru |
| ФИО руководителя предприятия: | Быков Виктор Александрович |
| Регион: | Москва, Зеленоградский округ |